旋片式真空泵排氣閥
排氣閥是旋片真空泵主要易損件之一，將影響泵的抽氣性能并產生噪音。排氣閥有兩種形式：一種是用橡膠墊做閥片，另一種是用布制酚醛層壓板或彈簧鋼片做閥片，排氣閥必須浸在泵油中，在排氣過程中，壓縮氣體推開排氣閥片，穿過泵油后排出，泵油起到密封作用。在雙級旋片式真空泵中，當高真空級腔不等時，需要在兩級之間設置輔助排氣閥，輔助排氣閥的作用是在入口壓力較高、經高真空腔壓縮的氣體已經達到排氣壓力時，輔助排氣閥打開，部分氣體由輔助排氣閥排出，部分氣體被低真空級腔抽走。隨著泵入口壓力的降低，輔助排氣閥排氣量逐漸減小，直至后關閉。
